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3d表面光學(xué)輪廓檢測(cè)儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewW3d表面光學(xué)輪廓檢測(cè)儀以白光干涉技術(shù)為原理,獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。它集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn),適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2025-04-07
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:886
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SuperViewW3d表面光學(xué)輪廓檢測(cè)儀以白光干涉技術(shù)為原理,獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。它集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn),適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

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產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例:

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產(chǎn)品特點(diǎn)

參數(shù)測(cè)量:粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積,一網(wǎng)打盡;

環(huán)境噪聲檢測(cè):實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),納米波動(dòng),也無可藏匿;

雙重防撞保護(hù):軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,讓“以卵擊石"也能安然無恙;

自動(dòng)拼接:3軸光柵閉環(huán)反饋,讓3D拼接“天衣無縫";

雙重振動(dòng)隔離:氣浮隔振,吸音隔振,任你“地動(dòng)山搖,我自巋然不動(dòng)"。


部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)W1
光源
白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標(biāo)配:10×

選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光學(xué)ZOOM

標(biāo)配:0.5×

選配:0.375×;0.75×;1×

物鏡塔臺(tái)

標(biāo)配:3孔手動(dòng)

選配:5孔電動(dòng)


XY位移平臺(tái)

尺寸320×200㎜
移動(dòng)范圍140×100㎜
負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動(dòng)
Z向掃描范圍10 ㎜
主機(jī)尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。


SuperViewW3d表面光學(xué)輪廓檢測(cè)儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

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