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3d白光輪廓儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,可為樣品表面測(cè)量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測(cè)量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。可以用于測(cè)試各類(lèi)表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測(cè)試直至100%反射率的各類(lèi)高反表面。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-04-05
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪(fǎng)問(wèn)量:1706
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3d白光輪廓儀是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,也叫白光干涉儀。它能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,非接觸測(cè)量樣品表面形貌,廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析。


中圖儀器SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量。采用的光學(xué)非接觸式測(cè)量方法,以及具有的測(cè)量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn),加上其*的光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)。


產(chǎn)品參數(shù)

500技術(shù)指標(biāo).jpg

500兩種型號(hào).jpg


產(chǎn)品特點(diǎn)

1.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)大幅減小了環(huán)境振動(dòng)的影響,還可以降低高精度量測(cè)時(shí)的噪聲,提高超光滑表面的測(cè)試精度。


2.一體化操作的測(cè)量分析軟件自動(dòng)對(duì)焦樣品表面,自動(dòng)智能配置測(cè)試參數(shù),使原來(lái)麻煩的“找條紋",“選擇測(cè)試參數(shù)"過(guò)程,在一分鐘之內(nèi),自動(dòng)完成。


3.雙重防撞保護(hù)功能,除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),能保護(hù)樣品和設(shè)備的安全。


軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置;

提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行修正;

提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測(cè)區(qū)域。


(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺(tái)階高度等要素測(cè)量;

提供點(diǎn)、線(xiàn)、圓弧、角度等特征測(cè)量,以及直線(xiàn)度、真圓度等形位公差評(píng)定,為用戶(hù)展現(xiàn)強(qiáng)大的輪廓分析功能;

提供基于表面的紋理分析,方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性;

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點(diǎn)計(jì)數(shù)、孔的體積等多種有針對(duì)性的分析功能;

提供頻譜分析功能,可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等;

提供全面的線(xiàn)粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能;

提供依據(jù)四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計(jì)算的2D,3D參數(shù)。


(3) 可視化的工作流模式,數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹(shù)圖,在每個(gè)節(jié)點(diǎn)既可以是數(shù)據(jù)處理選項(xiàng)也可以是分析結(jié)果。


(4) 多樣化的視圖觀察角度,3D視圖可以清晰地查看被測(cè)物的每一個(gè)特征,并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線(xiàn)圖之間任意切換。


(5) 內(nèi)置多種分析方案,可對(duì)特定表面進(jìn)行一鍵分析,自動(dòng)生成一組分析結(jié)果,節(jié)約操作時(shí)間;并可自定義方案,將用戶(hù)的分析項(xiàng)目組合起來(lái),避免重復(fù)操作。


(6) 便捷的同步分析功能,可實(shí)時(shí)提取表面二維剖面,同步計(jì)算更新參數(shù)指標(biāo),實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的操作所見(jiàn)即所得。


(7) 擁有多種報(bào)表形式,用戶(hù)可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。


中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,可為樣品表面測(cè)量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測(cè)量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)??梢杂糜跍y(cè)試各類(lèi)表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于測(cè)試直至100%反射率的各類(lèi)高反表面。


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深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術(shù)企業(yè),致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。


自成立以來(lái)一直以“致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售"為使命,在幾何量測(cè)量領(lǐng)域的潛心研究十幾年,如今在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測(cè)量三維重建、顯微測(cè)量3D形貌分析、大尺寸三維空間測(cè)量、精密傳感測(cè)頭、光柵導(dǎo)軌測(cè)控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了*的設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì),具備了從納米到百米為用戶(hù)提供精密測(cè)量解決方案的能力。

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