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VT6000系列共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測量前工作?？蓪Ω鞣N產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

共聚焦顯微鏡利用照明點(diǎn)與探測點(diǎn)共軛特性，可有效抑制同一焦點(diǎn)平面上非測量點(diǎn)的雜散熒光及來自樣品中非焦平面的熒光，從而獲得普通光鏡無法達(dá)到的分辨率。VT6000激光共聚焦掃描顯微鏡對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺(tái)：電動(dòng)手動(dòng)均可調(diào)節(jié)。有自動(dòng)化功能：自動(dòng)單區(qū)域測量、自動(dòng)多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動(dòng)搜索測量、自動(dòng)拼接測量；防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。

中圖儀器Chotest白光干涉儀SuperViewW1是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器，具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW1白光干涉顯微測量儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器VT6000系列3d成像共聚焦測量顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，在陶瓷、金屬、半導(dǎo)體、芯片等材料科學(xué)及生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中也具有廣泛的應(yīng)用。例如，鋼的鑄造組織一般比較粗大，可直接用共聚焦顯微鏡進(jìn)行觀察，同時(shí)可以利用其模擬微合金鋼在不同冷卻工藝下的凝固以及奧氏體不銹鋼的敏化過程，原位觀察過程中樣品表面的變化及與第二相析出情況。