CEM3000簡單易操作超高分辨率掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設(shè)計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測,具有高空間分辨率。
VT6000系列3D共聚焦顯微系統(tǒng)主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。
SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度儀以白光干涉技術(shù)為原理,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
CEM3000系列臺式掃描電鏡能譜一體機的抗振設(shè)計,在充滿機械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,拍攝出清晰、高分辨率的圖像??赏ㄟ^加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學、生命科學、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應用。
CEM3000系列納米材料觀測掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。
NS系列半導體臺階高度測量儀器可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。廣泛應用于半導體、光伏、MEMS、光學加工等領(lǐng)域。
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